میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM

در میکروسکوپ الکترونی روبشی (Scanning Electron Microscopy)  که به اختصار به آن میکروسکوپ SEM می‌گویند، یک پرتو الکترون در سطح دانه ، فاز ، سلول یا بافت به جلو و عقب حرکت می‌کند و تصویری دقیق از سطح سه بعدی نمونه ایجاد می‌کند.

میکروسکوپ الکترونی روبشی نوعی میکروسکوپ الکترونی است که با اسکن سطح با پرتوهای متمرکز الکترونی، تصاویری از نمونه را تولید می‌کند. الکترون‌ها با اتم‌های موجود در نمونه تعامل دارند و سیگنال‌های مختلفی ایجاد می‌کنند که حاوی اطلاعاتی در مورد توپوگرافی سطح و ترکیب نمونه است. از این نوع میکروسکوپ برای گرفتن تصویر دانه ها ، مرز دانه ها و فازها استفاده می‌شود. این نوع میکروسکوپ‌ها دارای قدرت بزرگنمایی به اندازه ۵۰۰٫۰۰۰ برابر هستند و قدرت تفکیکی در حدود ۱ تا ۲۰ نانومتر دارند.